Микроэлектроника
Описание
Микроэлектронная промышленность нуждается в сверхчистой воде и химических веществах сверхвысокой чистоты для обеспечения процессов производства полупроводников и интегральных схем. Компания Lanran предлагает технологию EDI для получения сверхчистой воды, а также решения на базе ED и BPED для регенерации и очистки ключевых технологических химикатов, таких как TMAH (гидроксид тетраметиламмония).
Процесс
- EDI: Вода, прошедшая обратный осмос (RO), поступает в модуль EDI, где из нее непрерывно удаляются остаточные ионы, в результате чего получается сверхчистая вода.
- Регенерация TMAH: технология ED/BPED позволяет отделять и извлекать TMAH из отработанных растворов проявителя, обеспечивая возможность их повторного использования.
Области применения
- Сверхчистая вода для очистки полупроводниковых пластин
- Регенерация и очистка ТМАГ (TMAH) для процессов литографии в производстве полупроводников
- Рекуперация химических веществ в производстве интегральных схем
Преимущества
- Стабильное качество сверхчистой воды без химической регенерации
- Значительное снижение затрат и рисков благодаря рециркуляции TMAH
- Обеспечение соответствия строгим стандартам чистоты, принятым в полупроводниковой промышленности